DST2-TG – компактная высоковакуумная установка, предназначенная для создания многослойных покрытий. Система напыления представлена двумя магнетронами и устройством для термического испарения. Конструкция установки делает возможным ее размещение в перчаточном боксе, реализована система удалённого управления с помощью встроенного Wi-Fi-модуля. Реализована в настольном исполнении и оснащена вакуумной системой на базе высокопроизводительного турбомолекулярного насоса. Идеально подходит для нанесения широкого спектра материалов на различные образцы.
Перчаточный бокс обеспечивает защищённую среду для создания наиболее деликатных материалов, предотвращая в процессе любой контакт с воздухом или влагой, а также другие нежелательные взаимодействия. Комплекс напыления, состоящий из DST2-TG размещённой в перчаточном боксе, обеспечивает наиболее подходящую среду для нанесения прецизионных покрытий высокой чистоты в условиях высокого вакуума, а также безопасного обращения с образцом в атмосфере инертного газа.
Настольная установка DST2-TG представляет собой высокопроизводительную полуавтоматическую вакуумную систему нанесения покрытий с большой камерой (диаметром 300 мм) и двумя катодами диаметром 2 дюйма с водяным охлаждением, что позволяет проводить процессы длительного напыления. DST2-TG является единой платформой для магнетронного распыления, распыления углеродной нити и термического испарения металлов. Кроме того, DST2-TG может распылять полупроводники и диэлектрики. Катоды для магнетронного распыления и элементы системы термического испарения могут быть установлены вместе одновременно, позволяя таким образом задействовать в общей сложности три источника осаждения. Нанесение углерода также возможно при использовании углеродной нити/шнура.

Дополнительные компоненты:

ВЧ источник питания и согласующий блок для уменьшения потерь мощности в процессе ВЧ-распыления
Система плазменной обработки поверхности для удаления органических загрязнений с поверхности образца перед напылением покрытий

Аппаратные возможности и характеристики:

Достижение высокого вакуума обеспечивается встроенным турбомолекулярным насосом со скоростью откачки 90 л/с
Двухступенчатый пластинчато-роторный форвакуумный насос (опционально – мембранный или спиральный насос)
Широкодиапазонный датчик вакуума
Большая камера для напыления (диаметр 300 мм, высота 200-250 мм) подходящая для напыления габаритных образцов
Электромеханический привод для подъема и опускания вакуумной камеры.
Два магнетронных катода диаметром 2 дюйма с водяным охлаждением
Проходные соединения (KF40) для размещения в перчаточном боксе. Необходимы для подключения источников питания (DC, ВЧ и высокоточный), вакуумного шланга, системы водяного охлаждения и системы подачи газа (аргон), других электрических соединений
Два измерителя толщины напылённого покрытия с точностью до 1 нм
Контроль подачи газа осуществляется с помощью двух прецизионных регуляторов массового расхода для точного контроля давления и расхода аргона
Возможность независимого распыления с каждого из катодов
Функции столика образцов: вращение, регулировка высоты и наклона
Заслонки с электромеханическим приводом

Автоматизация процессов:

Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессами нанесения покрытия и быстрого ввода данных
Удобное программное обеспечение для управления установкой, обновляемое по сети
Полуавтоматический процесс нанесения покрытия
Программное обеспечение для управления вертикальным перемещением камеры напыления
Управление процессами напыления с компьютера через Wi-Fi соединение
Воспроизводимые программируемые процессы нанесения покрытий в автоматическом режиме
Ручной или автоматический режим напыления с окончанием процесса по заданному времени или толщине покрытия
Запись и построение графиков с параметрами процессов напыления
Сохранение рецептов нанесения покрытий для воспроизведения процессов
Автоматический выбор катода для создания многослойных покрытий

Дополнительные возможности:

ВЧ распыление для осаждения материалов с непроводящих мишеней
Система плазменной обработки поверхности

Высокий вакуум

Вакуумная камера выполнена из боросиликатного стекла (Pyrex) цилиндрической формы с наружным диаметром 300 мм. DST2-TG оснащена встроенным турбомолекулярным с производительностью 90 л/с и двухступенчатым пластинчато-роторный форвакуумным насосом производительностью 6 м3/ч. Смонтированная в перчаточном боксе DST2-TG, позволяет обеспечить контролируемую среду в вакуумной камере для осаждения тонких покрытий высокой чистоты, а также финишную обработку образцов до и после процесса осаждения в атмосфере инертного газа внутри перчаточного бокса.

Управление при помощи сенсорного экрана

DST2-TG оснащена 7-дюймовым цветным сенсорным экраном; полностью автоматическое управление, контроль и настройка параметров процесса напыления при помощи удобного программного обеспечения. Панель управления также доступна на отдельном компьютере через Wi-Fi соединение. Информацию об уровне вакуума и этапа процесса напыления покрытия можно отслеживать в виде цифровых данных или графиков на сенсорном экране. Информация о последних 300 покрытиях сохраняется в истории выполненных операций и может быть передана на ПК через USB-порт.

Применение оборудования:

Металлические, полупроводниковые и диэлектрические покрытия
Нано-и микроэлектроника
Покрытия для отрасли солнечных батарей
Применение для отрасли тонкопленочных аккумуляторов
Создание сплавов и/или многослойных покрытий (Co-Sputtering)
Напыление под скользящими углами (GLAD – Glancing Angle Deposition)
Покрытия для оптических компонентов
Тонкопленочные датчики
Магнитные тонкопленочные устройства
Прецизионное напыление для подготовки образцов для СЭМ и ПЭМ

Спецификация:

Комбинация магнетронного распыления и термического испарения для размещения в перчаточном боксе
Предельный достижимый уровень вакуума: ≤ 8 x 10-6 Торр
Вакуумная камера с габаритами: 300 мм (диаметр) × 200-250 мм (высота)
Простая и быстрая установка мишеней без необходимости использования держателя для мишени.
Улучшенная теплопроводность за счет использования мишеней с опорной пластиной.
Неограниченное время напыления без нарушения вакуума
Независимый контроль скорости распыления для каждого катода для создания мелкозернистых структур.
Автоматический контроль температуры катода для защиты магнитов
Графики параметров покрытия в режиме реального времени
Простая передача графиков данных о покрытии через USB-порт или через Wi-Fi соединение
Источник питания постоянного тока: 0 – 1200 В, 0 – 500 мА
Электропитание: 220 В, 50/60 Гц
Макс. потребляемая мощность: 4,5 кВт
Габариты установки: 550 мм x 600 мм x 600 мм (В × Ш × Г)
Вес в транспортировочной упаковке: 120 кг, включая насос и стойку управления

Опции и аксессуары:
Кварцевый кристалл для измерителя толщины
Дополнительная цилиндрическая вакуумная камера из боросиликатного стекла
Мишени для напыления
«Лодочки» и «корзинки» для системы термического испарения металлов
Вакуумные уплотнения