Установка для нанесения углеродного покрытия с возможностью дополнительного оснащения системой термического испарения металлов. Реализована в настольном исполнении, имеет большую камеру для образцов и систему откачки на базе турбомолекулярного насоса. Идеально подходит для подготовки образцов для сканирующей электронной микроскопии высокого разрешения, просвечивающей электронной микроскопии, и различных аналитических применений (ЭДС, ВДС и EBSD). Позволяет создавать в высоком вакууме прецизионные однородные мелкозернистые углеродные и металлические покрытия, подходящие для самых сложных исследований. DCT-300 имеет увеличенную цилиндрическую камеру диаметром 300 мм, которая позволяет осуществлять в том числе и длительные процессы напыления на образцы диаметром до 15 см.

Аппаратные возможности и характеристики:
Достижение высокого вакуума обеспечивается встроенным турбомолекулярным насосом со скоростью откачки 90 л/с (Производитель ТМН – Leybold);
Двухступенчатый пластинчато-роторный форвакуумный насос (опционально – мембранный или спиральный насос);
Внутренний импульсный источник питания постоянного тока мощностью 500 Вт для распыления углеродной нити/шнура;
Внешний сильноточный (1,2 кВт) источник питания постоянного тока для режима термического испарения металлов (опция);
Измерить толщины напыленного покрытия с точностью до 1 нм и разрешением 1 Å;
Автоматический клапан напуска;
Функции столика образцов: вращение, регулировка высоты и наклона (реализуется для маленького столика);
Столик планетарным вращением (опция);
Два сильноточных токоввода для установки системы термического испарения металлов (опция);
Разборный держатель для термического испарения с возможностью верхней или нижней установки (опция);
Держатель образца с S-образным поджимом на головке термического испарения для верхнего напыления (опция);
Заслонка с электрическим приводом;
Легкая смена столиков для образцов.

Автоматизация процессов:
Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессами нанесения покрытия и быстрого ввода данных;
Удобное программное обеспечение для управления установкой. Обновление через USB;
Полуавтоматический процесс нанесения покрытия (опция);
Воспроизводимые программируемые процессы нанесения покрытий в автоматическом режиме;
Импульсный или непрерывный режим нанесения покрытия из углеродной нити/шнура;
Режимы импульсного или плавного нанесения покрытия при использовании углеродных стержней (опция);
Автоматическое нанесение покрытий при использовании углеродной нити/ шнура/стержней/ термического напыления в соответствии с заданным значением толщины;
Запись и построение графиков с параметрами процессов напыления;
Сохранение рецептов нанесения покрытий для воспроизведения процессов.

Применение оборудования:
Нанесение прецизионных мелкозернистых углеродных покрытий для подготовки образцов для сканирующей электронной микроскопии высокого разрешения, просвечивающей электронной микроскопии, а также для аналитических применений (ЭДС, ВДС и EBSD);
Создание разнообразных проводящих слоев;
Плазменная чистка сеток для ПЭМ для улучшения гидрофильности (опционально);
Очистка диафрагм с помощью держателя системы термического испарения.

Распыление углеродной нити/шнура
DCT-300 имеет возможность проведения импульсного испарения углеродной нити/шнура. Короткие импульсы обеспечивают более контролируемое осаждение и позволяют получить более однородное покрытие высокого качества.
Вставка для термического испарения углеродного шнура
Распыление углеродных стержней (опция)
DCT-300 может быть оснащена вставкой для испарения углеродных стержней (опция). В такой конфигурации используется внешний сильноточный источник питания (0-100 А) вместо внутреннего, предназначенного для испарения углеродной нити/шнура.
Вставка для термического испарения углеродных стержней
Термическое испарение (опция)
Напылительная установка DCT-300 может быть оснащена сильноточным источником питания и низковольтной (резистивной) сборкой для термического испарения. Система позволяет осуществлять контролируемое термическое испарение широкого спектра материалов на подложку. Различные типы держателей («лодочка», «корзинка» и катушка) для термического испарения могут быть легко смонтированы на сборке.
Вставка для термического испарения металлов
Высокий вакуум
Вакуумная камера выполнена из боросиликатного стекла (Pyrex) цилиндрической формы с наружным диаметром 300 мм и высотой 200 мм. DCT-300 оснащена встроенным турбомолекулярным насосом мощностью 90 л/с и двухступенчатым пластинчато-роторным форвакуумным насосом производительностью 6 м3/ч. Данная система обеспечивает вакуум в камере напыления без загрязнения маслом, которое обычно наблюдается при использовании привычного диффузионного насоса.
Управление при помощи сенсорного экрана
Настольная установка для нанесения углеродного покрытия оснащена 7-дюймовым цветным сенсорным экраном; полностью автоматическое управление, контроль и настройка параметров процесса напыления при помощи удобного программного обеспечения. Информацию об уровне вакуума и этапа процесса напыления покрытия можно отслеживать в виде цифровых данных или графиков на сенсорном экране. Информация о последних 300 процессах сохраняется в истории выполненных операций и может быть передана на ПК через USB-порт.
Внешний вид программного обеспечения установки DCT-T-300
Столики образцов
Установка может быть оснащена различными столиками для образцов в разнообразной конфигурации в зависимости от требований пользователя. Столики образцов имеют возможность вращения, регулировку по высоте и углу наклона, легко заменяются.

Столик с планетарным вращением является отличным решением для равномерного нанесения покрытия на габаритные и пористые образцы (опция).

Для нанесения покрытия на большие образцы рекомендуется 6-дюймовый поворотный столик для образцов (без регулировки наклона) (опция).

Столик для закрепления образцов
Дополнительная информация
Широкодиапазонный датчик вакуума (производитель – Leybold);
Вакуумная камера с габаритами: 300 мм (диаметр) × 200 мм (высота);
Предельный достижимый уровень вакуума: ≤ 8 x 10-6 Торр;
Габариты установки: 580 × 500 × 630 мм (В × Ш × Г);
Электропитание: 220 В, 50/60 Гц, 2 кВт;
Высокоточный электронный клапан для точного регулирования вакуума в камере;
Графики параметров покрытия в режиме реального времени;
Простая передача графиков данных о покрытии через USB-порт;
Вес в транспортировочной упаковке: 46 кг.
Опции и аксессуары
Вставка и блок питания для системы напыления с использованием углеродных стержней;
Сильноточный источник питания и низковольтная (резистивная) сборка для термического испарения;
Система плазменной чистки (источник питания и компоненты для ввода в камеру напыления);
Кварцевые кристаллы для измерителя толщины;
Столик с планетарным вращением образца;
Дополнительная цилиндрическая вакуумная камера из боросиликатного стекла;
Углеродная нить/шнур;
Углеродные стержни;
«Лодочки» и «корзинки» для системы термического испарения металлов;
Вакуумные уплотнения.