Двухлучевой растровый электронный микроскоп IQSCAN FIB55
IQSCAN
Отдел продаж:
+7 (343) 271-01-26, info@sintez-lab.ru
Каталог
Мощь и точность для нанофабрикации и прецизионного анализа
Создавайте, анализируйте и модифицируйте материалы на наноуровне. IQSCAN FIB55 — это флагманская двухлучевая система (FIB-SEM), объединяющая сверхвысокое разрешение электронной микроскопии и беспрецедентную точность ионной обработки в одном инструменте.
Разработанный для решения самых сложных задач в области нанотехнологий, failure-анализа и научных исследований, комплекс IQSCAN FIB55 представляет собой идеальный симбиоз мощности и интеллекта. Благодаря уникальной электронной колонне с технологией SuperTunnel™ и новейшей ионной колонне собственной разработки, система открывает новые возможности для прецизионного поперечного сечения, нанофабрикации и TEM-пробоподготовки.
Ключевые преимущества IQSCAN FIB55:
- Двойная точность: Комбинированная система обеспечивает сверхвысокое разрешение до 0.9 нм для детальной визуализации (SEM) и высокостабильный ионный пучок (FIB) для ювелирной обработки образца с точностью в нанометры. Технология SuperTunnel™ и траектория без кроссовера гарантируют максимальное качество изображения и минимальные аберрации.
- Мощная ионная колонна: Новейшая ионная колонна с источником LMIS (Ga) обеспечивает исключительную стабильность тока для непрерывной работы и долгосрочного воспроизведения пользовательских предустановок, что критически важно для серийных и сложных задач.
- Интегрированная система газовых инжекторов (GIS): Высокоточная пневматическая система, полностью управляемая из программного обеспечения, позволяет оперативно вводить газы для осаждения материалов или травления, значительно ускоряя процессы нанофабрикации и модификации.
- Интеллектуальный наноманипулятор: Встроенный наноманипулятор с пьезокерамическим приводом обеспечивает прецизионное перемещение и манипуляцию нанообъектами для создания микросхем, переноса образцов или подготовки срезов для TEM-микроскопии.
- Универсальная аналитическая платформа: Система предлагает богатейшие возможности для расширения функционала. Легко интегрируйте детекторы для EDS, EBSD, CL анализа, STEM-детектор или специализированные столики для in-situ экспериментов.
Технические характеристики:
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Разрешение (SEM) | 0.9 нм (при 15 кВ, SE) / 1.6 нм (при 1 кВ, SE) |
| Разрешение (FIB) | 3 нм (при 30 кВ) |
| Увеличение | 12x – 2 500 000x |
| Тип катода (SEM) | Шоттки |
| Тип ионного источника (FIB) | LMIS (Ga) |
| Ускоряющее напряжение (SEM) | 20 В – 30 кВ |
| Ускоряющее напряжение (FIB) | 500 В – 30 кВ |
| Детекторы (базовые) | SE, In-Lens, полупроводниковый 4-секционный BSE |
| Столик | 5-осевой моторный |
| Перемещения столика | X, Y: 110 мм; Z: 65 мм; Наклон (T): -10°…+70°; Вращение (R): 360° |
Области применения:
- Подготовка ультратонких срезов для просвечивающей электронной микроскопии (TEM)
- Failure-анализ и реверсивный инжиниринг в микроэлектронике
- Нанофабрикация и прототипирование микро- и наноустройств
- Прецизионное поперечное сечение для анализа покрытий и интерфейсов
- Локализованное осаждение проводящих и диэлектрических материалов
- Криминалистика и материаловедение
IQSCAN FIB55 — это больше чем микроскоп, это многофункциональная нано-лаборатория, которая предоставляет вам полный контроль над миром нанометров. Это ключевой инструмент для научных открытий, контроля качества и разработки технологий будущего.
Готовы вывести свои исследования и производство на наноуровень?
Свяжитесь с нашими специалистами для консультации и расчета индивидуальной конфигурации системы IQSCAN FIB55 под ваши задачи.