KYKY-EM8100 FEG-SEM
KYKY TECHNOLOGY CO., LTD., ΠΠΈΡΠ°ΠΉ, ΠΠ΅ΠΊΠΈΠ½
ΠΠ°ΡΠ°Π»ΠΎΠ³
KYKY-EM8100F Pro FEG-SEM β ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠΌΠΈΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏ Ρ ΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π¨ΠΎΡΡΠΊΠΈ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΠΉ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎ 1 Π½ΠΌ ΠΏΡΠΈ 30 ΠΊΠ (SE) ΠΈ 3 Π½ΠΌ ΠΏΡΠΈ 1 ΠΊΠ. ΠΡΠΈΠ±ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΡΠΊΠ° Π΄Π»Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ ΡΡΠΊΠΎΡΡΡΡΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΡ . ΠΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ: ΠΎΡ 15x Π΄ΠΎ 800 000x; ΡΠΎΠΊ Π·ΠΎΠ½Π΄Π°: ΠΎΡ 10 ΠΏΠ Π΄ΠΎ 300 Π½Π. ΠΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΌΠΎΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΡΡΠΈΠΎΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠ»ΠΈΠΊ Ρ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ 150 ΠΌΠΌ ΠΏΠΎ X, Y, Z, Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π° 360Β° ΠΈ Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠΌ ΠΎΡ -5Β° Π΄ΠΎ 75Β° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°ΠΌΠΈ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ Π΄ΠΎ 320 ΠΌΠΌ. ΠΠ°ΠΊΡΡΠΌΠ½Π°Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ, Π³Π΅ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ, ΡΡΡΠ±ΠΎΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ½ΡΠΉ Π½Π°ΡΠΎΡΡ. Π¨ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ SE ΠΈ BSE ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ CCD, EDS, EBSD, WDS ΠΈ CL. ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌ Ρ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΡΠΌΠΈ EBL, STM, AFM, Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈ ΠΊΡΠΈΠΎΡΡΠΎΠ»ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ°Π½ΠΈΠΏΡΠ»ΡΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ.
- ΠΠ°ΡΠΎΠ΄ Π¨ΠΎΡΡΠΊΠΈ
- ΠΠΏΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΡΠΊΠ°
- Π‘ΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° Π·ΠΎΠ½Π΄Π°
- ΠΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ ΡΡΠΊΠΎΡΡΡΡΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΡ
- ΠΠ²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΠ
- ΠΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΌΠΎΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΡΡΠΎΠ»ΠΈΠΊ
| ΠΠΏΡΠΈΠΈ | EM8100F Pro FEG SEM |
|---|---|
| Π Π°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ | 1Π½ΠΌ 30ΠΊΠ (SE) | 3Π½ΠΌ 1ΠΊΠ (SE) 2.5Π½ΠΌ 30ΠΊΠ (BSE) |
| Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ | 15x – 800000x |
| Π’ΠΈΠΏ ΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄Π° | ΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄ Π¨ΠΎΡΡΠΊΠΈ (ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²Π°Ρ ΡΠΌΠΈΡΡΠΈΡ) |
| Π’ΠΎΠΊ Π·ΠΎΠ½Π΄Π° | 10ΠΏΠ – 300Π½Π |
| Π£ΡΠΊΠΎΡΡΡΡΠ΅Π΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ | 0 – 30ΠΊΠ |
| ΠΠ°ΠΊΡΡΠΌΠ½Π°Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° | ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ Π½Π°ΡΠΎΡ, Π³Π΅ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ Π½Π°ΡΠΎΡ, ΡΡΡΠ±ΠΎΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠΉ Π½Π°ΡΠΎΡ, ΡΠΎΡΠΎΡΠ½ΡΠΉ Π½Π°ΡΠΎΡ |
| ΠΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ | SE, ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅Ρ ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ BSE |
| Π‘ΡΠΎΠ»ΠΈΠΊ | ΠΌΠΎΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Ρ ΠΏΡΡΡΡ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Ρ |
| ΠΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΡΡΠΎΠ»ΠΈΠΊΠ° | X,Y,Z: 0 – 150ΠΌΠΌ | Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅: 360Β° | Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½: -5Β° – 75Β° |
| ΠΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° | 320ΠΌΠΌ |
| ΠΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ½Π°Π΄Π»Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ | CCD, EDS, EBSD, CL, WDS ΠΈ ΠΏΡ. |
| ΠΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ | EBL, STM, AFM, Heating Stage, Cryo Stage, Tensile Stage, Micro-nanomanipulator, SEM+Coating Machine, SEM+ Laser ΠΈ ΠΏΡ. |