Каталог
- Катод Шоттки
- Опциональный режим торможения пучка
- Стабильность тока зонда
- Изучение непроводящих объектов при низких ускоряющих напряжениях
- Автоматизированное ПО
- Большой и полностью моторизованный столик
| Опции | EM8100F Pro FEG SEM |
|---|---|
| Разрешение | 1нм 30кВ (SE) | 3нм 1кВ (SE) 2.5нм 30кВ (BSE) |
| Увеличение | 15x – 800000x |
| Тип катода | катод Шоттки (полевая эмиссия) |
| Ток зонда | 10пА – 300нА |
| Ускоряющее напряжение | 0 – 30кВ |
| Вакуумная система | ионный насос, геттерный насос, турбомолекулярный насос, роторный насос |
| Детекторы | SE, полупроводниковый четырехсекционный BSE |
| Столик | моторизованный с пятью степенями свободы |
| Диапазон перемещений столика | X,Y,Z: 0 – 150мм | вращение: 360° | наклон: -5° – 75° |
| Максимальный диаметр образца | 320мм |
| Дополнительные принадлежности | CCD, EDS, EBSD, CL, WDS и пр. |
| Модификации | EBL, STM, AFM, Heating Stage, Cryo Stage, Tensile Stage, Micro-nanomanipulator, SEM+Coating Machine, SEM+ Laser и пр. |