Разрешение |
3нm 30кВ (SE) | 6нм 30кВ (BSE) |
Увеличение |
12x – 600000x |
Тип катода |
Термоэмиссионный вольфрамовый катод |
Ускоряющее напряжение |
0 – 30кВ |
Вакуумная система |
турбомолекулярный насос, роторный насос |
Детекторы |
SE, полупроводниковый четырехсекционный BSE |
Столик |
с пятью степенями свободы |
Диапазон перемещений столика |
X,Y,Z: 0 – 80мм | вращение: 360° | наклон: -5° – 90° |
Максимальный диаметр образца |
175мм |
Дополнительные принадлежности |
CCD, EDS, EBSD, CL, WDS и пр. |
Модификации |
EBL, LaB6, STM, AFM, Heating Stage, Cryo Stage, Tensile Stage, Micro-nanomanipulator, SEM + Coating Machine, SEM + Laser и пр. |