| Разрешение |
4.5нm 30кВ (SE) | 6нм 30кВ (BSE) |
| Увеличение |
30x – 500000x |
| Тип катода |
Термоэмиссионный вольфрамовый катод |
| Ускоряющее напряжение |
0 – 30кВ |
| Вакуумная система |
турбомолекулярный насос, роторный насос |
| Детекторы |
SE, полупроводниковый четырехсекционный BSE |
| Столик |
с пятью степенями свободы |
| Диапазон перемещений столика |
X,Y,Z: 0 – 50мм | вращение: 360° | наклон: -5° – 90° |
| Максимальный диаметр образца |
150мм |
| Дополнительные принадлежности |
CCD, EDS, EBSD, CL, WDS и пр. |
| Модификации |
EBL, LaB6, STM, AFM, Heating Stage, Cryo Stage, Tensile Stage, Micro-nanomanipulator, SEM + Coating Machine, SEM + Laser и пр. |
