Каталог
Высоковакуумная установка нанесения токопроводящих покрытий включает в себя как вставку для испарения углеродной нити, так и вставку для магнетронного распыления различных, в том числе и неблагородных, металлов, например, хрома(Cr), вольфрама(W), иридия(Ir) и т.д.
Данная установка позволяет получить высококачественные мелкозернистые однородные пленки, что необходимо при работе на больших увеличениях в сканирующем электронном микроскопе с полевой эмиссией.
Особенности
- Высокопроизводительный турбомолекулярный насос 90 л/с Leybold
- Двухступенчатый пластинчато-роторный насос
- Полнодиапазонный вакуумметр
- Вставка для испарения углеродной нити
- Импульсный и непрерывный режимы напыления
- Измеритель толщины напыления, точность измерения 1 нм
- Интуитивно понятное управление, сенсорный экран
- Контроль скорости напыления для получения минимальной зернистости
- Manual or automatic Timed and Thickness sputtering
- Возможность сохранять графики параметров процесса напыления
- Легкость загрузки и выгрузки образцо
Спецификация
- Предельный вакуум: < 7 x10-7 Торр
- Контроль скорости напыления для получения минимальной зернистости
- Высокоточный электронный клапан для точного регулирования вакуума в камере
- Электропитание: 220В-240В, 50/60Гц- 10A
- USB порт для передачи данных
- Полный вес: 42кг
Опции и аксессуары
- Вставка для испарения углеродных стержней
- Дополнительные кварцевые кристаллы для измерителя толщины
- Столик с планетарным вращением
- Запасная стеклянная вакуумная камера
- Мишени
- Уплотнительные вакуумные прокладки