Каталог
| Параметр | PT3000 |
| Мощность радиочастотного источника | от 0 до 300Вт регулируемая |
| Частота | 13.56МГц |
| Материал камеры | Алюминиевый сплав |
| Форма камеры | Цилиндрическая |
| Размер камеры | 147мм (диаметр) Х 145мм (высота) |
| Диаметр обрабатываемой поверхности | до 10 см |
| Уровень вакуума | ≤ 100 Па |
| Вакуумный насос | Двухступенчатый |
| Число газовых линий | 2 |
| Поток газа | 0.1-1 л/мин (регулируемый) |
| Длительность процесса | 1-6000 секунд, плавная регулировка |
| Электропитание | 220В 1000Вт |
| Размеры | 500мм(Ш) Х 525мм(Г) Х 365мм(В) |
| Вес | ≈ 38кг |