Каталог
Эпитаксиальный рост тонких пленок является ключевой технологией для полупроводниковой промышленности и создания новых материалов. Компания Exiton поставляет широкий спектр систем для молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ), от простейшей вакуумной камеры до сложных многокамерных систем, сконфигурированных с использованием комбинации различных методов. Линейка источников испарения охватывает температурный диапазон от -50 ℃ до 3500 ℃. МЛЭ системы установлены в известных мировых университетах (Китай, США, Южная Корея, Тайвань ОАЭ, Австралия и др.) и научно-исследовательских институтах.
В соответствии с потребностями заказчиков возможны различные типы источников: термические, пиролитические, электронно-лучевые и другие. В системы может быть установлено оборудование для мониторинга роста тонких пленок (RHEED, BFM, RGA и т. д.).
Система может быть сконфигурирована необходимым оборудованием для достижения автоматизированного повторяемого роста. Программное обеспечение позволяет осуществлять непрерывный контроль за всеми компонентами системы и обеспечивать автоматический контроль роста.
Система MBE 200/300/350
- Материал камеры: нержавеющая сталь 316.
- Базовое давление: 5*10E-10 мбар.
- Возможность установки до 8 испарителей с температурой до 3000℃.
- 4/5 — осевой манипулятор с возможностью нагрева (1000℃)/охлаждения (LN2).
- Для образцов до 2 дюймов.
- Система оборудована камерой загрузки, трансфером, кварцевыми микровесами и RHEED.
- Возможность установки дополнительных методов, соединения с системами LEED/ARPES/XPS/STM через радиальную камеру.
Система MBE 600/800
- Материал камер: нержавеющая сталь 316.
- Базовое давление: 2*10E-10 мбар. С использованием холодного экрана 5*10E-11
- Возможность установки до 12 испарителей с температурой до 3000℃.
- 4/5 — осевой манипулятор с возможность нагрева (1000℃)/охлаждения (LN2).
- Для образцов до 4 дюймов.
- Система оборудована радиальной камерой с автоматическим роботом-раздатчиком для перемещения образцов между различными камерами.
- Возможность установки RHEED, QCM, BFM, RGA, OFM и пр.
Система MBE 1000
- Кластерная система MBE-1000 оборудована радиальной камерой с автоматическим роботом-раздатчиком для перемещения образцов между различными камерами, который непрерывно вращается на 360°, для работы с большими образцами.
- Материал камер: нержавеющая сталь 316.
- Базовое давление: 2*10E-10 мбар. С использованием холодного экрана 5*10E-11
- Возможность установки до 12 испарителей с температурой до 3000℃.
- 4/5 — осевой манипулятор с возможность нагрева (1000℃)/охлаждения (LN2).
- Для образцов до 8 дюймов.
- Возможность установки RHEED, QCM, BFM, RGA, OFM и пр.
Область применения
