Система позволяет легко переходить от макроскопического исследования поверхности образца к микроскопическому. Атомно-силовой микроскоп необходим для детального изучения шероховатости поверхности на наноуровне, СЭМ упрощает навигацию и выбор участка интереса.

Области применения: материаловедение, тонкопленочные материалы, микроэлектроника и пр.