Система электронно-лучевой литографии устанавливаемая в сканирующий электронный микроскоп. Включает в себя прецизионный столик, прерыватель пучка и генератор изображений.

Опционально: литографическая система Nanomaker.

Области применения: микроэлектроника, оптоэлектроника, квантовая электроника и пр.