Каталог
Система электронно-лучевой литографии устанавливаемая в сканирующий электронный микроскоп. Включает в себя прецизионный столик, прерыватель пучка и генератор изображений.
Опционально: литографическая система Nanomaker.
Области применения: микроэлектроника, оптоэлектроника, квантовая электроника и пр.