Источник расщепления атомов фосфора представляет собой источник испарения основанный на использовании твердого прекурсора фосфора. Источник имеет структуру с двойной температурной зоной: испарения и крекинга. Для максимального снижения теплового взаимодействия между двумя зонами применяется специальная конструкция теплоизоляции. Кроме того, зоны герметизированы графитом, что снижает утечку паров в зоне испарения. Водяное охлаждение в зоне испарения и крекинга обеспечивает постоянное фоновое давление в процессе роста. Прекурсор фосфора, помещенный в зону испарения, поглощает тепло, выделяемое тепловым излучением нагревателя, и испаряется. В зоне крекинга в качестве нагревателя используется танталовая трубка, оснащённая многослойной теплоизоляцией из жаропрочного металла для защиты от потери тепла тепловым излучением до 2000 ℃. После того как молекулярный пар фосфора из зоны испарения попадает в зону крекинга, происходит быстрая реакция каталитического крекинга т.е. происходит получение пара одноатомного фосфора.
ООО “ГТК “Синтез”
E-mail: info@sintez-lab.ru
Тел.: +7 (343) 271-01-26
г. Екатеринбург, ул.Куйбышева, д. 55, оф. 516
2015-2021